Angenommen wir haben ein großes Vakuumystem mit mehreren Komponenten, Ventilen und Rohren im 100mm Durchmesser, dazu eine große Prozesskammer mit einer entsprechend dimensionierten Pumpe. Die Rohrleitungen sind mit Heizdecken umschlossen, die Prozesskammer wird durch einen Thermoreaktor beheizt.
Im kalten Zustand (Raumtemperatur) braucht die Pumpe über einen Bypass 45 Minuten, um den Systemdruck von 750 Torr auf 1.5 Torr zu senken. Ab da wird der volle Rohrquerschnitt freigegeben, sodass die Prozessdruck von 5mTorr erreicht wird.
Im heissen Zustand (Heizdecken um die Vakuumleitungen auf 180°C, große Prozesskammer bei 700°C) braucht sie nur 25 Minuten. Wie lässt sich das physikalisch erklären?
Hat das was mit dem Volumen der im System befindlichen Luft zu tun? Die Leckrate in dem System bleibt gleich.
Liebe Grüße