chemische Reaktion beim Ätzen von Siliziumnitrid mit heisser Phosphorsäure?

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Hallo Alchemist2, es hat ein bisschen gedauert, war ne ganz schön harte Nuss, aber ich habe es rausbekommen. Ich muss aber sagen, meine Bücher haben nichts hergegeben, da mir sowas jedoch keine Ruhe lässt, habe ich noch in meiner früheren Uni angerufen.

Die Gleichung lautet:

Si3N4 + 4H3PO4 + 12H2O→ 3Si(OH)4 + 4NH4H2 PO4

Hier der Link zu einer Publikation, in der man die Reaktion erwähnt, die bei dem Ätzvorgang von Si3N4 mit H3PO4 abläuft:

http://www.semiconductor.net/article/202149-HotPhosphoricAcidAPCforSiliconNitride_Etch.php

War aber auf jeden Fall eine interessante Frage.

Ergebensten Dank, absolut genial!

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valentin, valentin.

Das nenne ich mal Einsatz! Bravissimo! :)

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@nitnelav

Also das "mal" stört mich jetzt fast ein bißchen.... BEANSTANDET ...... "lach"

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wenn du zugang zu scopus oder web of science oder sowas hast, dann such mal unter versetzungsnachweis von silizuimnitrit. ätzversuche werden oft zum nachweisen realstruktureffekten in kristallen benutzt. eine meiner kollegen am institut untersucht solche sachen (an diesem system). ich kann sie mal fragen ob sie dazu literatur hat, wird aber erst morgen. das würde ich aber nur machen wenn es WIRKLICH wichtig ist.

oh, verdammt, mir ist gerade eingefallen, das meine kollegin silizide untersucht, sorry!

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Danke für deine Reaktion! Es eilt absolut nicht, hängt auch nichts von ab, aber es interessiert mich eben sehr.

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na ja ich soll im unterricht schlafen naja nicht böse gemeint. klasse 7 erstes jahr chemie würde dir nur zugern helfen.... aber sorry ich weis es leider selbst nicht ~

Trotzdem danke :)

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Wasserstoff + Sauerstoff = H20

Ja, Schätzelein, du bist wirklich soooo klug

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