MEMS - Magnetometer?
Hey, ich verstehe nicht ganz wie genau wie die Funktionsweise diese Gerätes ist.
"Die MEMS-Strukturen des Magnetometers umfassen torsionale Strukturen, torsionale Balken, Metallplatten, eine Spule und ein Glassubstrat (Abbildung 1). Die Lorentzkraft entsteht durch den Strom in der Spule und das externe horizontale Magnetfeld und führt zu differentiellen Verschiebungen der torsionalen Struktur, die mit zwei auf der torsionalen Struktur hergestellten Sensorkondensatoren erfasst werden können. Die Torsion erfolgt entlang der y-Achse. Alle Drehrichtungen entsprechen der Rechten-Hand-Regel."
Wie genau werden dann die Himmelsrichtungen erfasst?
Wie genau kann man sich die Verschiebung der torsionalen Struktur vorstellen.
Mit freundlichen Grüßen
1 Antwort
a) die magnetischen Feldlinien der Erde verlaufen von (magnetischem) Pol zu Pol, also ziemlich genau in Nord-Süd-Richtung - zumindest in unseren Breiten.
Wenn man jetzt 3 dieser Sensoren jeweils in einem 90° Winkel zueinander anordnet (=three axis magnetometer), kann man aus den Feldstärken, die die einzelnen Sensoren liefern, die Resultierende errechnen und hat damit die genaue Richtung des externen Magnetfeldes im Bezug zum 3-Achsen-Sensor.
b) die Struktur verschiebt sich nicht, sondern versucht sich um die y-Achse zu verdrehen bzw. im externen Magnetfeld auszurichten, ähnlich einer Kompassnadel. Die beiden mit "torsional beam" markierten Teile entlang der y-Achse stellen dabei die Drehachse dar.