MEMS - Magnetometer?

1 Antwort

a) die magnetischen Feldlinien der Erde verlaufen von (magnetischem) Pol zu Pol, also ziemlich genau in Nord-Süd-Richtung - zumindest in unseren Breiten.

Wenn man jetzt 3 dieser Sensoren jeweils in einem 90° Winkel zueinander anordnet (=three axis magnetometer), kann man aus den Feldstärken, die die einzelnen Sensoren liefern, die Resultierende errechnen und hat damit die genaue Richtung des externen Magnetfeldes im Bezug zum 3-Achsen-Sensor.

b) die Struktur verschiebt sich nicht, sondern versucht sich um die y-Achse zu verdrehen bzw. im externen Magnetfeld auszurichten, ähnlich einer Kompassnadel. Die beiden mit "torsional beam" markierten Teile entlang der y-Achse stellen dabei die Drehachse dar.